創立於荷蘭Veldhoven。

ASML 透過代理商(漢民科技)進入台灣市場服務客戶。

為讓產品組合更完整，ASML以新台幣1,000億元併購當時的台灣股后 — 漢民微測科技，成為台灣當年第二大外商投資案。

ASML台灣分公司正式落腳新竹。

ASML慶祝在台成立15週年並正式啟用位於新竹的新總部辦公室。

ASML在林口成立荷蘭總部以外的第一個製造廠，和台灣經濟部技術處密切合作，陸續將8吋晶圓設備翻修、光學檢測設備生產製造引進台灣，並成立培訓中心、研發中心和運籌物流中心。