創立於荷蘭Veldhoven。

ASML在林口成立荷蘭總部以外的第一個製造廠，和台灣經濟部技術處密切合作，陸續將8吋晶圓設備翻修、光學檢測設備生產製造引進台灣，並成立培訓中心、研發中心和運籌物流中心。

為讓產品組合更完整，ASML以新台幣1,000億元併購當時的台灣股后 — 漢民微測科技，成為台灣當年第二大外商投資案。

ASML台灣分公司正式落腳新竹。

ASML在台灣的桃園、新竹、台中、台南設有客戶服務據點，並在桃園(林口)和台南設有製造廠，負責生產ASML的光學和電子束檢測設備，出貨到全球。 ASML並持續在台灣創造就業機會。 做為領導企業，ASML透過基金會、企業贊助，及發起員工志工活動，持續強化在地回饋。

ASML慶祝在台成立15週年並正式啟用位於新竹的新總部辦公室。