創立於荷蘭Veldhoven。
ASML台灣分公司正式落腳新竹。
ASML 透過代理商(漢民科技)進入台灣市場服務客戶。
ASML在林口成立荷蘭總部以外的第一個製造廠,和台灣經濟部技術處密切合作,陸續將8吋晶圓設備翻修、光學檢測設備生產製造引進台灣,並成立培訓中心、研發中心和運籌物流中心。
ASML慶祝在台成立15週年並正式啟用位於新竹的新總部辦公室。
為讓產品組合更完整,ASML以新台幣1,000億元併購當時的台灣股后 — 漢民微測科技,成為台灣當年第二大外商投資案。
符合 WELL 金級認證標準,台中新辦公室落成;林口新廠區投資案啟動,預計最快 2026 年啟用。