Unity 是全球首創的 BEX 偵測器，專為 SEM 而設計。BEX 技術結合了 Backscattered Electron 和 X-ray imaging，除了樣品形貌資訊外，還能快速得到彩色分析圖像和精確元素訊息。

EBSD Detector。全新 EBSD Detector。在 >5700pps 標定速度下，能獲取 156x128 像素解析度EBSD 繞射圖。

EDS Detector。此系列 Detector 擁有採集速度快、敏感性高和定量分析準確性高的特點。

EDS Detector。Low kV 應用，可在 <1kV 下進行材料分析。

透過測量分析小波長範圍內的 X-ray 來獲得樣品的元素組成信息。