※詳細文章：https://pse.is/240625lineweb 在半導體製程接近極限時，材料分析成為關鍵！ 電子顯微鏡搭配EDS常被用來解析微奈米材料，但EDS能量解析度較低，容易導致能峰重疊和偽訊號兩大問題。 如何判讀EDS能譜以獲得正確的材料成分分析結果？