เครื่องวัดแบบสามมิติคือ - ใช้ระบบเลเซอร์ interferometer ที่เป็นแสง LED สีขาวที่มีความละเอียดสูงในระดับนาโน - Surface Topography Repeatability เริ่มตั้งแต่ 3.5 nm – 0.12 nm (0.0000035 mm – 0.000000...